Am Fachbereich Ingenieur- und Naturwissenschaften der 亚慱体育app官网_亚博视讯真人￥手机版下载 ist im M?rz 2020 das Forschungsprojekt "Phasenfluidische Toolbox für das Mikroelektronik - Processing" gestartet.

In dem Projekt soll ein innovatives Baukastensystems (Toolbox) für die universelle Entfernung von Prozessrückst?nden in der Mikroelektronik-Produktion mit dynamischen intelligenten Reinigungsfluiden entwickelt werden. Ziel ist dabei die Entfernung mit dynamischen, umweltschonenden, intelligente Reinigungsfluiden, die leicht biologisch abbaubar sind.

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